采用直驱电机结构，适用于高真空腔体环境。搭载自主研发的运动轨迹路径算法，保障晶圆输送过程全程稳定可靠。具备AWC自动纠偏功能，实时确保晶圆取放准确度，充分满足半
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北京京城机电控股有限责任公司是由北京市人民政府出资设立的国有独资公司，前身可追溯至1949年成立的北京市人民政府工业局。公司聚焦高端装备制造，现拥有140余家下
采用直驱电机结构，适用于高真空腔体环境。搭载自主研发的运动轨迹路径算法，保障晶圆输送过程全程稳定可靠。具备AWC自动纠偏功能，实时确保晶圆取放准确度，充分满足半导体精密制程要求。
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